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作为深耕中国半导体设备零部件领域十余年的专业机构，智研咨询致力于携手行业企业，提供精准信息、专业咨询与定制化解决方案，持续赋能半导体设备零部件产业发展。
行业发展阶段：目前，我国半导体设备零部件行业已进入追求高质量和系统性突破的新阶段，不再满足于个别品类的替代，而是朝着全产业链协同、高端领域全面渗透的方向推进，上游材料企业、中游零部件厂商与下游设备厂、晶圆厂的联动愈发紧密，通过共建联合实验室、共享测试平台等方式，同步推进材料研发、零部件试制和工艺验证，大幅缩短了技术迭代周期，同时，本土企业的竞争焦点也从单纯的产品量产，转向了原创技术研发和模块化解决方案供应。
行业发展有利因素：我国将半导体产业自主可控列为战略目标，近年来，相继发布《关于促进非银行金融机构支持大规模设备更新和消费品以旧换新行动的通知》《支持苏州工业园区深化开放创新综合试验的若干措施》《关于推动技能强企工作的指导意见》《关于促进集成电路产业高质量发展的若干政策》等一系列政策支持、鼓励和规范半导体产业发展，作为半导体产业重要配套之一的半导体设备零部件也受到众多产业政策的支持。
产业链核心节点：我国半导体设备零部件行业上游主要包括铝合金、不锈钢、钛合金、超高纯钨、铜等金属材料供应商以及高纯石英砂、陶瓷、石墨等非金属材料供应商，上游原材料的纯度、性能直接决定下游零部件的质量；行业中游为半导体设备零部件研发、设计、生产等环节；行业下游为应用与终端环节，中游零部件先供给半导体设备厂商，用于组装光刻、刻蚀、薄膜沉积等各类制造及封测设备，随后这些设备交付给晶圆厂和芯片封测企业，用于晶圆加工与芯片封装测试，最终芯片产品流入消费电子、汽车电子、AI、医疗电子等终端领域。
市场规模：据统计，2024年我国半导体设备零部件行业市场规模达1887.9亿元，同比增长34.9%，其中，配套（含进口装备）市场占92.5%，更新维护市场占7.5%。在配套市场中，机械类占比最大，高达36.5%，其次为系统输送系统和电器类，分别占16.1%和14.3%。
市场竞争格局：虽然我国半导体设备零部件市场“蛋糕”很大，但国产厂商分到的却不多，曾经，国内很多设备厂商及晶圆制造厂商几乎都以进口零部件为主，但近年来，国产厂商加快布局零部件产品，部分头部企业不断在细分领域掌握自主知识产权，国产零部件厂商才逐步进入国内设备/晶圆制造企业的供应链体系。但总体来看，由于半导体设备零部件种类繁多，加之半导体设备本身结构复杂，对加工精度、一致性、稳定性要求较高，导致精密零部件制造工序繁琐，技术难度大，行业内多数企业只专注于个别生产工艺，或专注于特定零部件产品，整体市场格局较为分散。
相关上市企业：沈阳富创精密设备股份有限公司是半导体零部件领域的领军企业，产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件，主要包括：机械及机电零组件（腔体、内衬、匀气盘等工艺零部件及腔体模组、阀体模组等模组产品）、气体传输系统（气柜、气体管路等产品），相关产品成功通过国内外龙头客户验证并实现量产。2025年上半年富创精密营业总收入已完成17.24亿元，其中，机械及机电零组件占68.56%，气体传输系统占28.92%。
市场趋势：此前国产零部件多在机械类等单一品类实现“点状突破”，未来将进入全品类协同替代的新阶段，一方面，头部晶圆厂和设备厂商会持续推行“国产优先”采购策略，还会联合零部件企业搭建本地化测试线，大幅缩短国产零部件的验证周期，为其进入供应链打开通道；另一方面，本土企业会针对射频电源、静电吸盘等此前依赖进口的高端品类集中攻关，同时在机械类零件已实现较高自给率的基础上，进一步提升产品稳定性，推动国产替代从成熟制程向先进制程延伸，逐步改变高端领域被海外寡头垄断的格局。
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